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镀膜机技术参数

更新时间:2023-03-23  |  点击率:1085

技术参数:

1. 真空室:∅220mm*H400mm;
2.  可镀最大工件尺寸:60*60mm,配抽拉式样品台, 样品可旋转;另配备铜基板样品台;
3.  真空系统:机械泵+分子泵抽气系统; 极限真空度:优于 5*10-5Pa;
4. 抽气时间:大气压~8*10-4Pa 小于 30min;
5. 蒸发:电阻式蒸发电极(1 对),可达到 1800℃(只要熔点低于 1600 度的都可以蒸镀)功率:2KW;
 6. 开启方式:正面开门结构,便于换丝及装料;
 7. 水冷循环系统 0.5P;
 注:可根据用户需要进行配置调整!

设备结构介绍:

该设备由真空室、真空机组和电气系统组成

1. 真空室

圆形形腔体,侧部抽气,正面开门。不锈钢材质,配 DN60 观察窗(含防污挡板)、预抽接口、充气接口; 内部有底板、蒸发源等;

2. 真空系统及进气

采用 110L 分子泵+4L 旋片式机械泵。采用真空波纹管连接,配有复合式数显真空测量仪表。

3. 电气系统

电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构,有效防止误操作发生。系统配有 1 套蒸发电源,数显。

4. 膜厚测量装置:采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套(选配)。