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程控匀胶机具有真空通道进胶安全保护功能

发表时间:1900-01-01  |  点击率:270
  程控匀胶机具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
  
  程控匀胶机的性能:
  
  1.转速可控范围:100-12000RPM,转速分辨率:1RPM
  
  2.大单步步长3000S,旋转时间分辨率0.1S
  
  3.加速度可控范围:100-30000RPM/S
  
  4.可处理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圆晶底物
  
  5.4.3寸全彩触摸屏,提供触屏笔操作,中英文界面可选
  
  6.可进行多步程序运行,多可存贮10组10步程序
  
  7.HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔,带排废功能
  
  8.SUS耐腐蚀不锈钢机身,耐溶剂性PC透明盖子
  
  9.带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能
  
  10.100W直流无刷电机,宽电压适用:AC100-230V输入
  
  11.带真空和盖子开关互锁功能,确保操作安全
  
  12.标配三种规格铝合金真空载物盘(直径10mm、25mm、55mm)
  
  13.防堵胶功能设计,真空通道进胶安全保护功能
  
  14.外形尺寸:256(W)*358(D)*258(H)
  
  程控匀胶机是高精密的旋转涂膜仪。主要为高等院校、科研院所、研发中心等进行研究,开发各种功能薄膜所用。适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺表面涂覆。

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